Halbleiterindustrie

Hinsichtlich Ausbeute und Zuverlässigkeit müssen heutige Halbleiterprozesse hohen Erwartungen gerecht werden. Quarzglas ist bei Hochtemperaturprozessen ein unverzichtbares Material. Die Anlagenverfügbarkeit und die Prozessreinheit müssen Ihren Erwartungen entsprechen und gerecht werden.

Im Bereich der Halbleiterindustrie bieten wir Ihnen Beschichtungs- und Hochtemperaturprozesse an.

• Dabei stehen moderne Beschichtungsprozesse den Herausforderungen gegenüber, die abgeschiedenen Schichten gleichförmig herzustellen, indem die Gleichförmigkeit des Gasflusses und der Temperatur gewährleistet werden muss.
• Damit die erforderliche hohe Prozessausbeute erzielt werden kann, müssen die Entstehung von Partikeln und Verunreinigungen vermieden werden.

Somit ist es unsere Aufgabe, für Sie Quarzglasprodukte herzustellen, die eine Gleichförmigkeit bieten und zugleich frei von Partikeln und Verunreinigungen sind. Turquarz unterstützt Sie bei dem Entwerfen von verschiedenen Quarzglasapparaturen und bei der Fertigung individueller Produkte. Auch Reparaturen können wir für Sie durchführen.